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日本COSMOS半导体特气检漏仪XP-703D日本新宇宙自动吸引式
特点：
最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。
规格
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检测对象气体 |
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） |
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检测原理 |
热线型半导体式 |
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采样方式 |
自动吸引式 |
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可检测浓度 |
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 |
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检测表示 |
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
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应答速度 |
10秒以内 |