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FST-MQP01 系列高精度材料显微转移设备系统
企业
山东菲斯特光电技术有限公司 | FEISITE
产品分类：二维材料科研制备设备 / 手动精密显微转移平台 / 范德华异质结堆叠系统
一、产品主标题
FST-MQP01 系列高精度材料显微转移设备系统
副标题：实验室通用手动款二维薄膜精准转移制备平台
二、产品简介
FST-MQP01 系列高精度材料显微转移系统是面向高校材料、物理、微电子课题组推出的手动经济型二维材料制备设备，整机集成高精密五维手动微调平台、PID 恒温真空载物台、三目金相显微观测系统、静音真空吸附单元，模块化一体化布局，搭配专业阻尼隔振光学底座。
设备兼容干法 PDMS 剥离、湿法捞膜两套主流工艺，可完成石墨烯、hBN、TMDs、钙钛矿、磁性二维材料等超薄薄膜定点拾取、多层异质结堆叠、热压退火贴合；操作上手简单、维护成本低、定位精度高，完美适配预算有限、样品制备量适中的高校实验室，可满足二维光电器件、低维半导体、微纳薄膜等课题样品制备需求，后期可拓展探针测试、光源、真空腔体等配套模块。
三、整机模块化结构组成
整套设备分为五大核心功能单元，结构紧凑，光路与运动机构一体化防震设计：
- 五维高精密手动微调转移单元
XYZ 三轴直线微调 + XY 俯仰角度 + Z 轴旋转五维手动位移结构，微分头精细进给，微米级精细调节，无回程间隙，手动完成薄膜精准对位，适配小批量、多变量科研实验。
- PID 恒温真空吸附载物台
多孔陶瓷真空吸附台面，室温～200℃宽温区间连续精准控温，控温精度 ±0.1℃，支持阶梯升温退火、高温干法剥离；负压可分段调节，适配硅片、石英、PDMS、柔性衬底等各类基底。
- 三目金相显微成像观测单元
三目镜筒光路搭配高清工业相机与 21.5 寸显示监视器，同轴环形冷光源，100~900 倍连续变倍放大，实时可视化观测单层二维薄膜边界、剥离贴合全过程，精准识别微米级薄膜形貌。
- 静音真空吸附气控单元
无油低噪隔膜真空泵，0~-90KPa 连续可调负压，切换干法、湿法两种转移工艺，轻柔吸附超薄单层材料，避免薄膜撕裂、滑移、褶皱。
- 阻尼隔振光学支撑底座
一体式铸铁阻尼隔振平台，内置高效阻尼夹层，隔绝地面、设备、人员走动带来的低频振动，保障长时间手动堆叠过程中样品无漂移，提升对位稳定性。
四、核心技术参数总表
表格
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| 参数分类 | 参数项目 | 技术指标 |
|---|---|---|
| 五维手动位移系统 | XY 有效行程 | 25mm×25mm |
| Z 轴升降行程 | 12mm | |
| 最小微分进给精度 | 1μm | |
| 角度调节范围 | X/Y 双向 ±5° 俯仰，Z 轴 360° 旋转 | |
| 传动结构 | 微分头精密螺杆传动，无回程间隙 | |
| 温控真空载物台 | 控温区间 | 室温～200℃ |
| 控温稳定精度 | ±0.1℃ | |
| 台面规格 | 40×40mm 多孔陶瓷真空吸附台面 | |
| 显微光学成像系统 | 显微镜类型 | 三目金相显微镜 |
| 放大倍率范围 | 100 ~ 900 倍连续可调 | |
| 成像输出 | 高清工业相机 + 21.5 寸高清监视器 | |
| 真空吸附系统 | 真空泵流量 | 7L/min 无油静音隔膜泵 |
| 负压调节区间 | 0 ~ -90KPa 连续可调 | |
| 整机配套底座 | 支撑平台 | 一体式阻尼隔振光学平台 |
| 整机供电 | 工作电压 | AC220V 50Hz |
五、产品核心优势
1. 五维手动微米级精密调节，操作灵活适配多变实验
五轴微分头手动微调，最小进给 1μm，角度、升降、平面位置均可独立精细调节，无需编程调试，随时更换衬底、调整工艺，适配课题组多材料、多变量探索性实验，上手门槛低，学生可快速独立操作。
2. 干湿法双工艺全覆盖，兼容全品类二维薄膜制备
一套设备同时支持干法 PDMS 剥离转移、湿法水捞膜转移，适配石墨烯、氮化硼、过渡金属硫族化合物、钙钛矿、磁性二维材料、柔性超薄薄膜等全部主流低维材料，一套设备满足课题组全部样品制备需求。
3. 一体化精密温控退火模块，适配多元薄膜工艺
最高 200℃稳定恒温台面，支持热压贴合、高温干法剥离、界面杂质退火去除、薄膜应力释放等工艺；可设置多段阶梯升温曲线，解决超薄薄膜氧化、界面接触不良等制备难题。
4. 高清可视化显微观测，微米级薄膜精准识别
高倍三目金相成像系统，实时清晰观测纳米级厚度二维薄膜边界、褶皱、缺陷，人工精准完成定点拾取、异质结对准，大幅降低薄膜破损、对位偏移带来的样品报废率。
5. 标配阻尼隔振底座，抑制震动保障堆叠精度
整机配套专业阻尼隔振光学平台，高效滤除实验室环境低频振动，长时间手动对位过程中样品、光路无漂移，大面积薄膜、微阵列器件堆叠稳定性大幅提升。
6. 高性价比经济型方案，低维护适配高校预算
纯手动结构无伺服电机等高损耗配件，故障率极低、几乎零维护；设备采购成本远低于全自动电动转移系统，是预算有限、小批量样品制备课题组的高性价比首选。
7. 模块化拓展设计，后期可升级全自动配置
设备预留标准化拓展接口，可后期加装电动位移模组、原位电学探针测试台、密闭真空腔体、LED 太阳光模拟器、多波长单色 LED 光源，逐步升级为全自动一体化表征系统。
六、典型应用领域
- 二维范德华异质结科研制备
石墨烯 /hBN 垂直堆叠、多层 TMDs 异质结构、磁性二维材料、钙钛矿复合薄膜样品制备；
- 低维光电器件研发
二维场效应晶体管、光电探测器、柔性忆阻器、微纳发光器件、传感芯片样品制备；
- 薄膜光学与输运特性表征
大面积薄膜 PL、拉曼扫描测试、载流子输运机理、界面光电效应课题研究；
- 高校教学与基础科研
材料、物理、微电子专业本科教学演示、硕士博士课题标准化样品制备；
- 企业小型研发实验室
柔性电子、新型半导体、光传感材料小批量样品试制与工艺摸索。
七、标准出厂全套配置清单
- FST-MQP01 五维手动显微转移主机（含阻尼隔振光学底座）
- 五维精密微分手动微调转移模组
- 室温～200℃ PID 真空吸附陶瓷温控载物台
- 三目金相显微镜 + 高清工业成像相机 + 21.5 寸监视器
- 无油静音真空泵、全套真空管路与负压调节阀
- 标准 PDMS 衬底、玻璃载片、样品固定夹具全套耗材
- 整机电源线、信号传输线、操作手册、配套调节工具包
八、可选拓展选配模块
- 原位电学探针测试模组：堆叠完成后 IV、光电响应原位测试
- 密闭高真空腔体模组：隔绝水汽氧化，适配黑磷、钙钛矿等易氧化材料
- 大面积 LED 太阳光模拟器、多波长单色 LED 光源
- 气浮隔振平台升级套件、手套箱内置适配改造组件
- 电动伺服升级套件，可将手动款改造为全自动程控转移系统
九、质保与配套技术服务
- 质保政策：整机标准质保 1 年，微分微调滑轨、温控加热组件、真空传感器核心部件 2 年质保；
- 技术支持：免费提供设备操作手册、全套二维材料干湿法转移标准工艺方案、远程操作指导；
- 定制服务：支持台面尺寸、温控区间、位移行程、拓展接口非标定制；
- 交付周期：标准机型 7 个工作日发货，带多套选配模块定制机型 15~20 个工作日交付；
- 增值服务：工程师上门装机调试、设备精度校准、课题组人员实操培训、长期工艺技术咨询。
